抗蚀剂组合物及其应用2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117631446 A (43)申请公布日 2024.03.01 (21)申请号 202311450113.7 (22)申请日 2023.11.02 (71)申请人 张斌 地址 100061 北京市东城区夕照寺街道3- 2-1802 申请人 栾力冰　关琬婷 (72)发明人 张斌　栾力冰　关琬婷　 (74)专利代理机构 北京派特恩知识产权代理有 限公司 11270 专利代理师 康艳青　张颖玲 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书12页 (54)发明名称 抗蚀剂组合物及其应用 (57)摘要 本发明公开了一种抗蚀剂组合物，包括在酸 的作用下在碱性显影液中溶解度发生变化的成 膜树脂(A)、曝光时产生酸的产酸剂成分(B)、以 及酸扩散抑制剂(D)。本发明提供在正型抗蚀剂 材料和负型抗蚀剂材料中都为高灵敏度的抗蚀 剂组合物以及使用其的图案形成方法。本发明的 树脂(A)包括具有如下通式(a‑1)所示的结构单 元。 A 6 4 4 1 3 6 7 1 1 N C CN 117631446 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种抗蚀剂组合物，其特征在于，包括在酸的作用下在碱性显影液中溶解度发生变 化的成