发明

金刚石涂层刀具的膜厚监测方法及涂层设备2025

2024-04-11 07:26:28 发布于四川 2
  • 申请专利号:CN202311803397.3
  • 公开(公告)日:2025-05-06
  • 公开(公告)号:CN117848261A
  • 申请人:广东鼎泰高科技术股份有限公司
摘要:本发明公开一种金刚石涂层刀具的膜厚监测方法,所述刀具包括刃部,所述膜厚监测方法包括如下步骤:获取待镀膜刀具的实际参数;依据所述实际参数确定对应的仿真参数,依据所述仿真参数选取对应的参考工件,所述参考工件包括圆台形的仿真刀刃;构建膜厚计算模型,所述膜厚计算模型通过所述仿真参数和实时测量的所述参考工件的重量得到,表征所述参考工件在镀膜时,所述仿真刀刃的膜厚和和参考工件的重量之间的映射关系;获取所述待镀膜刀具的实时重量和/或所述参考工件的实时重量,依据所述膜厚计算模型,确定所述待镀膜刃部的实时膜厚。本发明结构简洁,控制方法直接,涂层厚度控制更精确,非常利于实际操作。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117848261 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202311803397.3 C23C 16/27 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) (22)申请日 2023.12.25 G01G 19/414 (2006.01) (71)申请人 广东鼎泰高科技术股份有限公司 G01B 21/02 (2006.01) 地址 523071 广东省东莞市厚街镇寮厦竹 G01B 21/10 (2006.01) 园路39号1号楼201室 (72)发明人 曹时义 李浩 张耀祖 王俊锋  蒋健康 赵紫锋 龚文安  (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 吴廷渊 张艳美 (51)Int.Cl. G01B 21/08 (2006.01) G06F 30/17 (2020.01) G06F 30/20 (2020.01) G06F 17/10 (2006.01) 权利要求书2页 说

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