一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117723490 A (43)申请公布日 2024.03.19 (21)申请号 202410162686.8 (22)申请日 2024.02.05 (71)申请人 魅杰光电科技（上海）有限公司 地址 201306 上海市浦东新区中国(上海) 自由贸易试验区临港新片区海洋一路 333号1号楼、2号楼 (72)发明人 任晓静　梁安生　王婷婷　秦雪飞　 刘再庆　温任华　 (74)专利代理机构 北京清大紫荆知识产权代理 有限公司 11718 专利代理师 余中燕 (51)Int.Cl. G01N 21/01 (2006.01) G01N 21/95 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 (54)发明名称 一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉 自聚焦光路 (57)摘要 本申请提供一种晶圆检测系统及方法、宽谱 相干光干涉自聚焦光路，应用于晶圆检测技术领 域，采用宽谱相干光的干涉信号的强度作为自聚 焦信号，检测光源根据实际需求灵活选取，自聚 焦光与检测光通过二向色镜组合或者分束，具有 光机结构简单、调试简单、聚焦速度快、普适性好 等优点，解决了基于白光干涉自聚焦晶圆检测系 统光机结构复杂、调试复杂、检测光源受限等缺 点，能广泛应用于晶圆自动化检测中。 A 0 9 4 3 2 7