叉臂组件及晶圆探针台2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117706340 A (43)申请公布日 2024.03.15 (21)申请号 202410179220.9 (22)申请日 2024.02.18 (71)申请人 深圳市森美协尔科技有限公司 地址 518103 广东省深圳市宝安区福海街 道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4 号楼三层 (72)发明人 周凯旋　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 陈舟苗 (51)Int.Cl. G01R 31/28 (2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图13页 (54)发明名称 叉臂组件及晶圆探针台 (57)摘要 本申请涉及一种叉臂组件及晶圆探针台。叉 臂组件包括：叉臂及吸盘，叉臂具有凹槽及第一 流道，叉臂还具有相背设置的第一表面及第二表 面，凹槽贯穿第一表面，凹槽包括连通且沿第一 表面及第二表面的排布方向上排布的第一子槽 及第二子槽，第一子槽贯穿第一表面且其径向尺 寸小于第二子槽的径向尺寸，第二子槽连通第一 流道；吸盘包括依相连的卡持部、连接部及吸嘴， 卡持部的径向尺寸大于连接部的径向尺寸，卡持 部位于第二子槽内，连接部位于第一子槽内，吸 嘴环绕连接部的外周且位于第一表面侧，吸盘还 具有第二流道，第二流道贯穿连接部背离卡持部 A 的表面且贯穿卡持部的外周侧壁，第二流道与第 0 一流道连通。所述吸盘稳固设置于所述叉臂。 4 3 6 0 7 7 1 1