一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113816334 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202110915113.4 (22)申请日 2021.08.10 (71)申请人 广西师范大学 地址 541004 广西壮族自治区桂林市七星 区育才路15号 (72)发明人 李全福　陈武良　孙曼莉　徐敏华　 彭慧玲　 (74)专利代理机构 桂林文必达专利代理事务所 (特殊普通合伙) 45134 代理人 白洪 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01) G01N 33/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制 备方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于硝化石墨烯的氨气 传感器及其制备方法，通过在所述基底沉积金属 结构，再采用湿法刻蚀技术将石墨烯转移至金属 结构表面，接着利用光刻技术以及等离子去胶机 设备去除多余部分石墨烯，实现图案化石墨烯， 将形成的石墨烯器件置于硝酸溶液中，控制硝酸 浓度、处理温度及时间等制备参数，获得所述的 基于硝化石墨烯的氨气传感器，制备的传感器结 构简单，成本低廉，同时具有灵敏度高、响应速度 快、重复性好、常温下工作、测量浓度下限低等特 点，解决了现有技术中石墨烯氨气传感器存在的 A 技术问题。 4 3 3 6