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发明

一种用于光刻胶顶层涂层的组合物及其聚合物制备方法

2023-05-14 11:38:28 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202210290003.8
  • 公开（公告）日：2024-09-17
  • 公开（公告）号：CN114637165A
  • 申请人：中节能万润股份有限公司
摘要：本发明涉及一种用于光刻胶顶层涂层的组合物及其聚合物制备方法，所述的组合物中至少包含如下两种聚合物：a、b、c、x、y、z分别为聚合物重复单元的质量分数，a选自30‑60％，b选自5‑20％，c选自20‑50％；x选自5‑20％，y选自1‑10％，z选自70～90％；聚合物I和聚合物II的分子量分别选自1000‑30000Da，分子量分散系数分别选自1.0‑4.0。所述的组合物用于光刻胶顶层涂层具有较高的后退角，可减少光致产酸剂在水中的沥出。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114637165 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210290003.8 C08F 220/38 (2006.01) C08F 220/18 (2006.01) (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人 中节能万润股份有限公司 地址 264006 山东省烟台市经济技术开发 区五指山路11号 (72)发明人 付海超　邹广辉　赵洪祥　刘文昭　 杨丽　 (74)专利代理机构 北京中创博腾知识产权代理 事务所(普通合伙) 11636 专利代理师 李艳艳 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) C09D 133/16 (2006.01) C09D 133/10 (2006.01) C08F 220/24 (2006.01) 权利要求书2页 说明书13页 附图5页 (54)发明名称 一种用于光刻胶顶层涂层的组合物及其聚 合物制备方法 (57)摘要 本发明涉及一种用于光刻胶顶层涂层的组 合物及其聚合物制备方法，所述的组合物中至少 包含如下两种聚合物： a、b、c、x、y、z分 别为聚合物重复单元的质量分数，a选自30 ‑ 60％，b

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