晶圆切割在线检测系统

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116141511 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202211704430.2 (22)申请日 2022.12.29 (71)申请人 深圳智赛机器人有限公司 地址 518000 广东省深圳市光明区玉塘街 道田寮社区光明高新园西片区森阳电 子科技园厂房二栋501 (72)发明人 楼正军　叶伟刚　赵朋涛　 (51)Int.Cl. B28D 5/02 (2006.01) B28D 7/00 (2006.01) G01D 21/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 晶圆切割在线检测系统 (57)摘要 本发明涉及一种检测系统，具体为晶圆切割 在线检测系统，属于晶圆切割技术领域，包括实 时监控系统，实时监控系统电性连接在圆晶切割 机的主轴变频器上，实时监控系统用于对圆晶切 割机实施切割的旋转主轴的状态进行监控，实时 监控系统包括数据采集模块，数据采集模块用于 通过数据采集卡对主轴变频器内的实时电流数 据、扭矩数据和转速数据信息进行采集，实时检 测分析模块用于对实时电流数据和扭矩数据信 息进行谐波分析；本发明能够对旋转主轴参数点 更深层次的分析，找到更细微的变化，能够直接 在关键参数点上设置相应的措施，能够对预设的 A 状况适度进行自动预判处理，或者暂停切割，有 1 效预防异常的发生，有效提高了晶圆切割质量和 1 5 1 设备的可靠性。 4 1 6 1 1