一种悬浮多电极范德华异质结电子器件及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114655921 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202210189985.1 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人 山西大学 地址 030006 山西省太原市坞城路92号 (72)发明人 韩拯　李小茜　张桐耀　闫宁　 沙铉哲　 (74)专利代理机构 太原申立德知识产权代理事 务所(特殊普通合伙) 14115 专利代理师 程园园 (51)Int.Cl. B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (54)发明名称 一种悬浮多电极范德华异质结电子器件及 其制备方法 (57)摘要 本发明属于纳米材料技术领域，具体涉及一 种悬浮多电极范德华异质结电子器件及其制备 方法。本发明将二维范德华纳米功能材料与传统 纳米机电系统进行耦合，采用“自下而上”垂直堆 叠将范德华异质结悬浮于带有底栅的阵列孔洞 表面，并通过微纳加工与等离子刻蚀等技术手 段，可获得多电极、阵列化悬浮范德华微纳器件， 具有重复性高，普适性强等特性，有利于进一步 集成至模块化电路，在一定程度上缩小了器件的 尺寸，为基于范德华材料及其异质结的微纳传感 器件制备提供了指导。 A 1 2 9 5 5 6 4 1 1 N C CN 114655921 A