基板载具夹具2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118102589 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202310819979.4 (22)申请日 2023.07.05 (30)优先权数据 10-2022-0160632 2022.11.25 KR (71)申请人 (株)太星 地址 韩国京畿道 (72)发明人 金钟学　权珉俊　 (74)专利代理机构 北京润平知识产权代理有限 公司 11283 专利代理师 刘兵 (51)Int.Cl. H05K 3/00 (2006.01) H05K 3/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书11页 附图11页 (54)发明名称 基板载具夹具 (57)摘要 本发明涉及一种基板载具夹具，为了夹紧把 持基板的边缘部位而配备有在上、下部夹钳上分 别配置有夹紧磁铁的多个上、下部夹钳，可以通 过将配备有上、下部夹钳的基板载具夹具倾斜旋 转成倾斜的角度而使得如蚀刻液等药品均匀地 对基板的表面进行处理，同时还可以通过最大限 度地减小上、下部夹钳所把持的基板的接触面积 而减少如蚀刻液等药品的滞留现象，进而通过在 上、下部夹钳的端部形成在与基板的上、下侧接 触的部位以不同的形态凸出的第一、第二凸出部 而诱导液体的排出并借此预防蚀刻液的滞留现 象的结构得到改良。 A 9 8 5 2 0 1 8 1 1 N C CN 118102589 A 权　利　要　求