一种带有磁芯的电感耦合远程等离子体发生器2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116801470 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310990306.5 (22)申请日 2023.08.07 (71)申请人 电子科技大学 地址 611731 四川省成都市高新区（西区） 西源大道2006号 (72)发明人 罗启迪　王战亮　宫玉彬　杨生鹏　 谢之昱　 (74)专利代理机构 成都行之智信知识产权代理 有限公司 51256 专利代理师 温利平 (51)Int.Cl. H05H 1/24 (2006.01) H01F 27/30 (2006.01) H01F 27/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种带有磁芯的电感耦合远程等离子体发 生器 (57)摘要 本发明公开了一种带有磁芯的电感耦合远 程等离子体发生器，包括放电腔室、磁芯和电感 线圈 ；具体讲，先用真空泵将放电腔体内的气压 抽至高真空后，再为放电腔室注入工质气体，然 后通过外接电源向电感线圈通入射频交流电 ，电 感线圈将电源提供的能量转化为电磁能，电磁能 再经过磁芯将其传输至放电腔室，带电粒子吸收 电磁场能量后与放电腔室中的气体分子或原子 发生电离碰撞，形成等离子体，最后通过等离子 体输出端口输出。 A 0 7 4 1 0 8 6 1 1 N C CN 116801470 A