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发明

晶圆裂片圆切机构

2023-05-09 11:04:18 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202210105307.2
  • 公开（公告）日：2024-11-26
  • 公开（公告）号：CN114407104A
  • 申请人：江苏通用半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆裂片圆切机构，包括精密滚珠丝杠组件，滚珠丝杠组件的螺母外侧下部通过轴承旋转固定在切割架上，滚珠丝杠的螺母外侧上部套接齿环，齿环与固定在圆切刀架上的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合；螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮，圆柱齿轮与固定在圆切刀架上的螺杆转动伺服电机输出端固定的第二齿轮啮合；螺杆下端径向固定有旋转臂，旋转臂的端部均固定有刀轮安装座，刀轮安装座端部通过摆动装置连接有刀轮。在螺杆移动伺服电机的带动下使切刀轮达到晶圆表面，螺杆移动伺服电机和螺杆旋转伺服电机的共同作用下使得螺杆开始转动，使得刀轮的角度能够得到调整，两侧的刀轮使得在切割过程中保持平稳。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114407104 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210105307.2 B29C 63/02 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2022.01.28 (71)申请人 河南通用智能装备有限公司 地址 450001 河南省郑州市高新技术产业 开发区瑞达路96号创业中心2号一楼 A130-10号 (72)发明人 闫兴　陶为银　巩铁建　蔡正道　 乔赛赛　张伟　鲍占林　王鹏　 杜磊　 (74)专利代理机构 郑州中原专利事务所有限公 司 41109 代理人 张春　郭明月 (51)Int.Cl. B26D 1/28 (2006.01) B26D 7/26 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图18页 (54)发明名称 晶圆裂片圆切机构 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆裂片圆切机构，包括 精密滚珠丝杠组件，滚珠丝杠组件的螺母外侧下 部通过轴承旋转固定在切割架上，滚珠丝杠的螺 母外侧上部套接齿环，齿环与固定在圆切刀架上 的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合； 螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮，圆柱齿轮与固定 在圆切刀架上的螺杆转动伺服

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