电极座及沉积设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221028669 U (45)授权公告日 2024.05.28 (21)申请号 202323049613.8 (22)申请日 2023.11.10 (73)专利权人 扬州阿特斯太阳能电池有限公司 地址 225101 江苏省扬州市经济开发区扬 子江中路186号智谷科技综合体D座5 楼501-389室 专利权人 宿迁阿特斯阳光电力科技有限公 司 (72)发明人 毛杰　 (74)专利代理机构 苏州三英知识产权代理有限 公司 32412 专利代理师 周仁青 (51)Int.Cl. C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/505 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图8页 (54)实用新型名称 电极座及沉积设备 (57)摘要 本实用新型揭示了一种电极座及沉积设备， 电极座用于电性连接石墨舟脚与电极杆，石墨舟 脚包括第一接触面，电极座包括电极座本体及若 干石墨块，电极座本体中设有沿电极座本体厚度 方向贯穿的安装孔，电极座本体外侧包括与第一 接触面相抵接的第一表面，电极座本体上设有贯 穿第一表面至安装孔的若干通孔，石墨块安装于 通孔内，石墨块的第一端面与第一表面齐平，石 墨块的第二端面与电极座本体的内壁齐平。本实 用新型既通过电极座本体保证了结构强度，又通 过石墨块提高了电极座的导电性，增加了电极座 的使用寿