谐振结构、声学谐振器、声学滤波器2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118100855 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410465825.4 (22)申请日 2024.04.18 (71)申请人 深圳新声半导体有限公司 地址 518109 广东省深圳市福田区梅林街 道梅都社区中康路136号深圳新一代 产业园3栋801 (72)发明人 王小茹　邹洁　冯端　 (74)专利代理机构 北京康盛知识产权代理有限 公司 11331 专利代理师 陶俊洁 (51)Int.Cl. H03H 9/17 (2006.01) H03H 9/13 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/54 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 谐振结构、声学谐振器、声学滤波器 (57)摘要 本申请涉及半导体技术领域，公开一种谐振 结构，包括：压电层；上电极层，设置在压电层的 一面；下电极层，设置在压电层的另一面；隔离 环，将压电层处于有效工作区域的部分包围；有 效工作区域为第一投影和第二投影的交叠区域； 第一投影为上电极层在压电层上的正投影，第二 投影为下电极层在压电层上的正投影；隔离环至 少一端凸出于压电层的表面；隔离环位于上电极 层和下电极层之间。该谐振结构能够提升声学谐 振器的品质因数，且制作更加方便。本申请还公 开了一种声学谐振器和声学滤波器。