一种磁力诱导式堆叠型压电惯性复合定位台及驱动方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117060776 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202310998319.7 (22)申请日 2023.08.09 (71)申请人 浙江大学 地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘 路866号 (72)发明人 韩冬　乔广达　江宇宁　杨灿耿　 龚国芳　杨华勇　 (74)专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公 司 33200 专利代理师 郑海峰 (51)Int.Cl. H02N 2/04 (2006.01) H02N 2/06 (2006.01) H02K 33/18 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种磁力诱导式堆叠型压电惯性复合定位 台及驱动方法 (57)摘要 本发明公开了一种磁力诱导式堆叠型压电 惯性复合定位台及驱动方法，其包括载物台、电 磁驱动组件、压电驱动单元和底座单元；电磁驱 动组件包括线圈单元和磁铁单元，压电驱动组件 内设置有柔性机构，柔性机构内部安装有压电堆 叠；压电堆叠激励时柔性机构能产生变形并带动 惯性块产生水平方向的位移。本发明磁铁单元做 动子，以避免电磁驱动单元引线对平台定位精度 的影响。一方面通过电磁力诱导辅助抑制压电驱 动单元的位移回退运动，另一方面通过电磁与压 电两种驱动源复合提升整机综合输出性能，既有 A 效提升其推力负载、提升驱动速度、抑制位移回 6 退、及