一种外延反应加热控制方法、系统、电子设备及存储介质

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114990691 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202210794117.6 C23C 16/44 (2006.01) (22)申请日 2022.07.07 (71)申请人 季华实验室 地址 528200 广东省佛山市南海区桂城街 道环岛南路28号 (72)发明人 谢利华　毛朝斌　王慧勇　 (74)专利代理机构 佛山市海融科创知识产权代 理事务所(普通合伙) 44377 专利代理师 陈志超 (51)Int.Cl. C30B 25/16 (2006.01) C30B 25/10 (2006.01) C30B 25/08 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图3页 (54)发明名称 一种外延反应加热控制方法、系统、电子设 备及存储介质 (57)摘要 本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉 及一种外延反应加热控制方法、系统、电子设备 及存储介质，外延反应加热控制方法用于外延反 应设备，包括以下步骤：输出最大加热功率信息 以使外延反应设备的外延腔迅速升温至预设的 第一温度信息；根据第一温度信息、预设的第二 温度信息以及第二温度信息对应的起始加热功 率信息生成加热功率曲线；根据加热功率曲线调 节并输出加