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发明

选择与衬底上的测量或特征相关联的部位的集合

2023-06-23 07:27:26 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202110630682.4
  • 公开（公告）日：2024-11-08
  • 公开（公告）号：CN113341659A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：本发明提供一种选择衬底上用于测量或特征的部位的最优集合的方法，该方法包括：(302)：限定约束条件，并且可选地限定成本函数。(306)：限定部位的第一候选方案。(308)：基于对所述第一候选方案的方案域中的坐标的修改，限定具有部位的第二候选方案。这可能涉及重复、突变和交叉。(310)：确定与所述衬底上所需的测量准确性或特征布局相关联的成本函数的值。(312)：根据与所述衬底相关联的约束并且可选地根据所述成本函数的值，选择所述第一候选方案和/或第二候选方案作为所述最优方案。(314)：如果满足所述约束并且所述成本函数的值已收敛，或者如果已达到一迭代次数，则迭代结束。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341659 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110630682.4 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) (22)申请日 2017.09.21 G03F 9/00 (2006.01) (30)优先权数据 16193903.8 2016.10.14 EP 17160587.6 2017.03.13 EP (62)分案原申请数据 201780063402.8 2017.09.21 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 P ·弗朗西斯科　S ·P ·马特瓦　 J ·S ·怀登伯格　 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 代理人 王益 权利要求书2页 说明书16页 附图11页 (54)发明名称 选择与衬底上的测量或特征相关联的部位 的集合 (57)摘要 本发明提供一种选择衬底上用于测量或特 征的部位的最优集合的方法，该方法包括： (302)：限定约束条件，并且可选地限定成本函 数。(306)：限定部位的第一候选方案。(308)：基 于对所述第一候选方案的方案域中的坐标的修

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