泵盖组件及其PVD真空设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288232 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310222864.7 (22)申请日 2023.03.09 (71)申请人 三一硅能 （株洲）有限公司 地址 412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾 街道铜霞路255号隆信国际1号楼518- 50室 (72)发明人 肖长彬　请求不公布姓名　 请求不公布姓名　 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 专利代理师 宁曼莹 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 泵盖组件及其PVD真空设备 (57)摘要 本发明涉及PVD技术领域，提供一种泵盖组 件及其PVD真空设备。该泵盖组件，包括：泵盖本 体，泵盖本体包括：第一底板，第一底板适于与反 应腔室密封配合 ；制冷装置，制冷装置固定在第 一底板，用于对反应腔室内部进行冷却；加热装 置，加热装置固定在第一底板，用于对处于反应 腔室内部的工件进行加热。本发明通过将制冷装 置和加热装置集成固定在泵盖本体的第一底板 的下方，能够随泵盖本体一同取下，提高了设备 集成度，占用空间小，提高了空间利用率，可为反 应腔室安装其他结构预留大量空间；当需要对加 热装置和/或制冷装置进行清洁或维护等时，可 A 以直接将泵