一种三氟化硼气体的提纯系统2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117105236 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311163206.1 (22)申请日 2023.09.08 (71)申请人 深圳市中核海得威生物科技有限公 司 地址 518118 广东省深圳市坪山区坑梓街 道金沙社区卢田路5号 (72)发明人 赵东升　黄华璠　 (74)专利代理机构 深圳市韦恩肯知识产权代理 有限公司 44375 专利代理师 韩慧丽 (51)Int.Cl. C01B 35/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种三氟化硼气体的提纯系统 (57)摘要 本发明涉及一种三氟化硼气体的提纯系统， 三氟化硼气体的提纯系统包括依次通过管道连 接的无水氟化氢储罐、冷凝器、吸附剂储罐和过 滤器。本发明采用无水氟化氢储罐吸收和吸附剂 储罐吸附的方式，将三氟化硼气体中的金属组分 先溶于无水氟化氢液体，或与气态氟化氢形成新 的化合物后，被吸附在金属氟化物上，从而与氟 化氢一起被除去。本发明的三氟化硼气体的提纯 系统具有流程短、能耗低的特点。 A 6 3 2 5 0 1 7 1 1 N C CN 117105236 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种三氟化硼气体的提纯系统，其特征在于，所述三氟化硼气体