一种双镜面异材蒸镀装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118064843 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410496873.X (22)申请日 2024.04.24 (71)申请人 成都顿威新型金属材料有限公司 地址 610000 四川省成都市双流区西南航 空港经济开发区龙湖路19号 (72)发明人 秦蕾　王潇　 (74)专利代理机构 成都智与研专利代理有限公 司 51353 专利代理师 闫光慧 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书3页 说明书8页 附图10页 (54)发明名称 一种双镜面异材蒸镀装置 (57)摘要 本发明公开了一种双镜面异材蒸镀装置，涉 及真空蒸镀设备领域，包括蒸镀装置壳体，蒸镀 装置壳体的内侧底部安置有两个用于盛放蒸镀 材料的坩埚，两个坩埚之间设置有凹弧顶托块， 凹弧顶托块与蒸镀装置壳体为固定连接，蒸镀装 置壳体的上部呈圆弧顶状，蒸镀装置壳体的内部 设置有分隔组件，本发明通过分隔组件将蒸镀装 置壳体的内部分隔为两个独立的蒸镀腔室，再配 合悬挂单元和驱动单元的作用，在两个独立蒸镀 腔室中的基板进行一面蒸镀后，可以直接将悬挂 单元内的基板在两个独立蒸镀腔室之间进行位 置更换，即能对基板的另一面进行蒸镀，由于两 A 个独立蒸镀腔室中坩埚内的镀料不同，就能够实 3 现在同一次