一种微蚀设备的微蚀液循环装置2024
- 申请专利号:CN202322666725.1
- 公开(公告)日:2024-05-28
- 公开(公告)号:CN221028686U
- 申请人:珠海隆康电子科技有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221028686 U (45)授权公告日 2024.05.28 (21)申请号 202322666725.1 C25C 7/06 (2006.01) C02F 1/30 (2023.01) (22)申请日 2023.10.07 G08B 21/18 (2006.01) (73)专利权人 珠海隆康电子科技有限公司 G08B 3/10 (2006.01) 地址 519000 广东省珠海市金湾区三灶镇 中心村春花园38号厂房 (72)发明人 龙小飞 (74)专利代理机构 深圳市凯博企服专利代理事 务所(特殊普通合伙) 44482 专利代理师 杨锋 (51)Int.Cl. C23F 1/08 (2006.01) H05K 3/06 (2006.01) C23F 1/46 (2006.01) C25C 1/12 (2006.01) C25C 7/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)实用新型名称 一种微蚀设备的微蚀液循环装置 (57)摘要 本实用新型涉及微蚀液循环技术领域,具体 为一种微蚀设备的微蚀液循环装置,包