发明

一种密封装置、具有该密封装置的容器及工件处理装置

2023-06-03 12:24:48 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN201910969367.7
  • 公开(公告)日:2025-06-13
  • 公开(公告)号:CN112647111A
  • 申请人:常熟东威科技有限公司
摘要:本发明提供了一种密封装置、具有该密封装置的容器及工件处理装置,其中密封装置包括至少一个密封组件,可伸缩地设在密封通道的一侧内壁上,并相对设置的与密封通道的另一侧内壁之间形成供工件滑行的滑行通道;密封组件通过沿第二方向的伸缩运动,滑行通道的内壁在与工件的两端上的密封部件处于密封滑动连接的密封状态,密封组件背向滑行通道的外壁面抵接在各自所对应密封通道的内壁上。由于在密封状态下,密封组件的两壁面分别抵接在容器的内壁上以及密封部件之间密封滑动连接,使得容器内腔的溶液不能进入密封通道内,减小容器中的溶液经密封通道的进口端或出口端向外流出,使得容器内的溶液的液面下降幅度变慢,对后续工件处理的影响小。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112647111 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 201910969367.7 (22)申请日 2019.10.12 (71)申请人 昆山东威科技股份有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇 东定路东侧 (72)发明人 魏红亮 方志斌 危勇军  (74)专利代理机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 11250 代理人 徐律 (51)Int.Cl. C25D 17/02(2006.01) C25D 17/00(2006.01) 权利要求书3页 说明书10页 附图3页 (54)发明名称 一种密封装置、具有该密封装置的容器及工 件处理装置 (57)摘要 本发明提供了一种密封装置、具有该密封装 置的容器及工件处理装置,其中密封装置包括至 少一个密封组件,可伸缩地设在密封通道的一侧 内壁上,并相对设置的与密封通道的另一侧内壁 之间形成供工件滑行的滑行通道;密封组件通过 沿第二方向的伸缩运动,滑行通道的内壁在与工 件的两端上的密封部件处于密封滑动连接的密 封状态,密封组件背向滑行通道的外壁面抵接在 各自所对应密封通道的内壁上。由于在密封状态 下,密封组件的两壁面分别抵接在容器的内壁上 以及密封部件之间密封滑动连接,使得容器内腔 A 的溶液不能进入密封通道内,减小容器中的溶液

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