一种用于CVD石英管的新型进气装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221028664 U (45)授权公告日 2024.05.28 (21)申请号 202322702241.8 (22)申请日 2023.10.09 (73)专利权人 江苏润阳光伏科技有限公司 地址 224000 江苏省盐城市建湖县经济开 发区北京路1号 (72)发明人 陈明利　 (74)专利代理机构 江苏圣典律师事务所 32237 专利代理师 任重 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 (54)实用新型名称 一种用于CVD石英管的新型进气装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种用于CVD石英管的新 型进气装置，用于双舟炉管的供气，包括用于连 接炉内外特气管道的进气法兰，进气法兰与双舟 炉管内的气嘴之间通过分气机构相连通，所述气 嘴包括设置在炉管炉口位置的炉口气嘴以及设 置在双舟炉管中部位置的炉中气嘴，进入进气法 兰的特气通过分气机构分流后进入炉口气嘴和 炉中气嘴，营造炉内气场；本实用新型采用双气 嘴进气，每个气嘴单独对应一个舟，且进气量可 控，可降低特气耗量，从而降低度电成本；并且炉 口、炉中同时进气，对应前舟、后舟，气场分布更 均匀，提高了镀膜均匀性；降低了前舟、后舟之间 U 的空隙对气流场的影响，提高了气流场的稳定 4 性。 6 6 8 2 0 1 2 2 N C CN 221028664 U 权　利　要　求　书