基板载具和电化学沉积设备

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113882004 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111265856.8 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 (72)发明人 闫俊伟　袁广才　孙少东　王成飞　 董士豪　张国才　曲燕　 (74)专利代理机构 北京市立方律师事务所 11330 代理人 张筱宁 (51)Int.Cl. C25D 17/06 (2006.01) C25D 17/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 (54)发明名称 基板载具和电化学沉积设备 (57)摘要 本申请实施例提供了一种基板载具和电化 学沉积设备。该基板载具，包括：承载板，至少一 侧用于承载基板，且至少一侧具有导电结构；盖 板，包括盖板本体和弹性连接电极；盖板本体与 承载板可拆卸连接；弹性连接电极与盖板本体连 接，弹性连接电极用于将基板限制于承载板的一 侧，并连接基板的导电种子层和承载板的导电结 构。本申请实施例提供的基板载具实现了盖板与 承载板对基板的柔性夹持，有利于为施加于基板 的夹持力提供一定的自适应调节空间，相对于刚 性夹持而言，柔性夹持既能为基板提供充足的夹 持力，实现对基板的稳定、有效夹持，又能避免夹 A 持力过大而损坏基板。 4 0 0 2 8 8 3 1 1 N C C