一种真空蒸镀试验装置及其方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115679268 A (43)申请公布日 2023.02.03 (21)申请号 202211430510.3 (22)申请日 2022.11.15 (71)申请人 上海大学 地址 200444 上海市宝山区上大路99号 (72)发明人 张小新　杨波　陈超越　郝一帆　 田昊鑫　王江　任忠鸣　 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569 专利代理师 李胜强 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/52 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种真空蒸镀试验装置及其方法 (57)摘要 本发明公开一种真空蒸镀试验装置及其方 法，涉及金属真空蒸镀试验设备技术领域，包括 真空腔和透明容器，真空腔通过底部的开口与透 明容器连通；真空腔连通有真空泵，真空腔内部 设置有待镀金属试样；透明容器上设置有用于对 其加热的第一加热机构，透明容器内部盛有蒸发 金属试样，且透明容器在与真空腔的连接位置设 置有易断部；本发明通过设置石英坩埚，将蒸发 金属试样的蒸发腔转移至真空腔的外部，工作人 员能够通过透明的石英坩埚对蒸发金属试样的 蒸发过程进行观察；并且透明容器具有易断部， 蒸发完成后可以通过破坏易断部使得石英坩埚 A 脱落，金属蒸汽不会回流至石英坩埚中，从而降 8 低了蒸发金属试样的残留，利于蒸发金属试样蒸 6 2 9 发量的准确获取。 7 6 5 1 1 N