一种可形成复合材料的共溅射阴极体镀膜设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118086845 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410149413.X (22)申请日 2024.02.01 (71)申请人 金耀真空设备（中山）有限公司 地址 528400 广东省中山市板芙镇智科路3 号中南高科板芙智能装备制造项目12 栋2单元1层 (72)发明人 朱世元　高鹤　潘朝刚　吴桂桃　 柯绍锴　 (74)专利代理机构 中山市科创专利代理有限公 司 44211 专利代理师 尹文涛 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种可形成复合材料的共溅射阴极体镀膜 设备 (57)摘要 本发明公开了一种可形成复合材料的共溅 射阴极体镀膜设备，包括有镀膜腔体，镀膜腔体 内设有腔室，腔室内设有分别沿长度方向设置且 用于受带电粒子碰撞后向外溅射靶材粒子的平 面阴极组件和旋转阴极组件，以及设置于平面阴 极组件和旋转阴极组件上侧带动基材运动的基 材滚动支架，镀膜腔体上设有用于控制平面阴极 组件转动调节溅射角度的平面阴极角度调节组 件和用于控制旋转阴极组件转动调节溅射角度 的旋转阴极角度调节组件，结合旋转阴极和平面 阴极可最大限度地发挥两种阴极的优势，实现各 A 类型复合材料的形成，可利用不同材质的不同反 5