碳化硅桨的水平度调节装置、水平度调节方法及控制设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117702280 A (43)申请公布日 2024.03.15 (21)申请号 202311727252.X (22)申请日 2023.12.15 (71)申请人 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 申请人 西安奕斯伟硅片技术有限公司 (72)发明人 贺鹏　张鹏举　郭超超　 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 专利代理师 崔姬玉 (51)Int.Cl. C30B 33/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 碳化硅桨的水平度调节装置、水平度调节方 法及控制设备 (57)摘要 本发明提供了一种碳化硅桨的水平度调节 装置、水平度调节方法及控制设备，属于半导体 技术领域。包括：基座(1)、紧固件、挡板(2)、测距 传感器(3)和调节机构(4)；紧固件用于将碳化硅 桨(5)的第一端固定在基座(1)上；挡板(2)安装 在碳化硅桨(5)的第二端，且挡板(2)与碳化硅桨 (5)的下表面相垂直；测距传感器(3)设置在基座 (1)上朝向所述挡板(2)的一侧壁上，测距传感器 (3)用于测量测距传感器(3)与挡板(2)之间的距 离值；调节机构(4)用于根据距离值，调节紧固件 的松紧度，以调节碳化硅桨(5)的水平度。本发明 A 的技术