一种体声波谐振器及其制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117081537 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202311115602.7 (22)申请日 2023.08.31 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 秦瑞东　母志强　俞文杰　 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 李仪萍 (51)Int.Cl. H03H 9/17 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 一种体声波谐振器及其制备方法 (57)摘要 本发明提供一种体声波谐振器及其制备方 法，制备方法包括：于临时衬底设置单晶氮化铝 或掺杂氮化铝为压电薄膜；依次设置第一电极 层、布拉格反射结构、键合层，键合至键合衬底 上；去除临时衬底，设置第二电极层和电引出结 构。本发明通过单晶氮化铝的压电薄膜材料选 择，提高器件性能；同时设置布拉格反射结构在 键合层上，使键合层对谐振器性能影响小，可选 用多种键合材料和键合工艺，提高制备过程的可 实现性；另外对压电薄膜的减薄，去除质量较差 的压电薄膜提高器件性能；最后配合布拉格反射 结构和键合工艺制造固态装配型的体声波谐振 A 器，可提高谐振器机械强度，改善衬底的导热性 7 能，减小体声