一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置2023
- 申请专利号:CN202320783391.3
- 公开(公告)日:2023-09-01
- 公开(公告)号:CN219621300U
- 申请人:张杏如
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219621300 U (45)授权公告日 2023.09.01 (21)申请号 202320783391.3 (22)申请日 2023.04.10 (73)专利权人 张杏如 地址 400000 重庆市铜梁区蒲吕街道蒲吕 工业园区云安路8号 (72)发明人 张杏如 (51)Int.Cl. C30B 15/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)实用新型名称 一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装 置 (57)摘要 本实用新型属于单晶硅加工技术领域,具体 地说是一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投 装置,包括投料筒;所述投料筒顶部固定连接有 安装框,所述安装框顶部设有固定槽,所述投料 筒底部固定连接有出料框,所述投料筒内部设有 复投机构;所述复投机构包括若干隔板,所述隔 板表面设有出料孔,所述投料筒内部两侧壁位于 隔板底部均固定连接有第二电动伸缩杆,两侧所 述第二电动伸缩杆末端均固定连接有挡板,所述 投料筒内部两侧壁位于隔板顶部均设有安装槽, 两侧所述安装槽内部固定连接有第一电动伸缩 U 杆,两侧所述第一电动伸缩杆末端固定连接有推 0 板;通过复投机构实现自动复投,防止复投硅料 0 3 1 时间增加使得复投硅料效率低下的情况产生。 2 6 9 1 2 N C CN 219621300 U 权 利 要 求 书