一种MOCVD用石墨盘烤盘炉2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116753722 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310731647.0 F27D 3/15 (2006.01) (22)申请日 2023.06.19 (71)申请人 北京北方华创真空技术有限公司 地址 102600 北京市大兴区北京经济技术 开发区文昌大道8号1幢401室 (72)发明人 马昊鹏　张革　杜程　邓蕊　 王志超　 (74)专利代理机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 苑新民 (51)Int.Cl. F27B 9/16 (2006.01) C23C 16/46 (2006.01) F27B 9/30 (2006.01) F27D 5/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种MOCVD用石墨盘烤盘炉 (57)摘要 本申请涉及金属有机物化学气相沉积的领 域，尤其是涉及一种MOCVD用石墨盘烤盘炉，包括 石墨盘本体、用于放置需清洁的石墨盘本体的炉 体、设置在所述炉体内用于对所述炉体内部进行 加热的加热器、设置在所述炉体底部的石墨盘旋 转装置、用于向所述炉体内部充气及吹扫所述石 墨盘本体盘面的进气管，以及用于排出所述炉体 内部气体的排气管；其中，所述石墨盘本体放置 在所述石墨盘旋转装置上，且所述石墨盘旋转装