一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置及控制方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113818073 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202111054199.2 (22)申请日 2021.09.09 (71)申请人 河南微米光学科技有限公司 地址 464000 河南省信阳市商城县城关镇 轻工业园区100号 (72)发明人 徐悟生　张磊　朱逢锐　徐超　 赵丽媛　甄西合　 (74)专利代理机构 烟台上禾知识产权代理事务 所(普通合伙) 37234 代理人 孙俊业 (51)Int.Cl. C30B 11/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图4页 (54)发明名称 一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制 装置及控制方法 (57)摘要 本发明涉及晶体材料生长领域，具体的涉及 一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置 及控制方法，包括以下步骤：步骤一：将晶体生长 的原料放入坩埚中，控制垂直升降机构运行到原 始位置；步骤二：通过信息输入器输入晶体生长 工艺参数；步骤三：开启自动运行控制器与伺服 控制器进行通讯，将相应参数输送到伺服控制 器，通过伺服控制器对伺服电机进行控制；步骤 四：温度感应器和位移感应器的实时数据被信息 采集器实时采集；步骤五：程序运行结束后，待炉 体内温度降至室温，通过垂直升降机构调节坩埚 A 在炉体内的位置，将晶体取出。通过自动控制装 3 置及控制方法，晶体生长操作控制更加简单方 7 0 8 便、自动化程度