一种等离子增强型化学气相沉积的接地线结构

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116200730 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310197600.0 (22)申请日 2023.03.03 (71)申请人 福建华佳彩有限公司 地址 351100 福建省莆田市涵江区涵中西 路1号 (72)发明人 黄德伦　庄君伟　范鹤腾　夏宗法　 黄志鸿　 (74)专利代理机构 福州市京华专利代理事务所 (普通合伙) 35212 专利代理师 范小清 (51)Int.Cl. C23C 16/505 (2006.01) H01R 4/64 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (54)发明名称 一种等离子增强型化学气相沉积的接地线 结构 (57)摘要 本发明提供了一种等离子增强型化学气相 沉积的接地线结构，包括有真空侧接地线，真空 侧接地线的一端与下电极连接，在工艺腔上开设 有安装孔，安装孔安装有接地线本体，且接地线 本体与工艺腔绝缘连接，真空侧接地线的另一端 与接地线本体连接，接地线本体连接有大气侧接 地线，大气侧接地线一侧与工艺腔连接，大气侧 接地线上连接有可变电阻，接地线本体还连接有 检测机构，检测机构连接有控制模块，控制模块 根据检测结果控制可变电阻的大小，改变大气侧 接地线的通断。本发明能够及时的监控真空侧接 A 地线的断裂数量和断裂位置，在局部真空侧接地 0