正型感光性树脂组合物、固化膜及其图案加工方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112180684 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202011171907.6 (22)申请日 2020.10.28 (71)申请人 武汉柔显科技股份有限公司 地址 430057 湖北省武汉市经济技术开发 区东荆河路1号 申请人 湖北鼎龙控股股份有限公司 (72)发明人 周小明　 肖桂林　朱双全　 (51)Int.Cl. G03F 7/039 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01) G03F 7/32 (2006.01) G03F 7/40 (2006.01) 权利要求书2页 说明书22页 (54)发明名称 正型感光性树脂组合物、固化膜及其图案加 工方法 (57)摘要 本发明提供能够在曝光后通过碱显影且曝 光敏感度良好、图案分辨率高的正型感光性树脂 组合物、由该正型感光性树脂组合物固化后得到 的固化膜和该固化膜的图案加工方法。本发明的 正型感光性树脂组合物，其含有(a)碱溶性树脂 100重量份、(b)光产酸剂10‑30重量份、(c)热交 联剂20‑60重量份和(d)有机溶剂，上述(a)碱溶 性树脂的主链结构中包含具有结构式(a1)的结 构单元和具有结构式(a2)的结构单元，结构式 (a2)的结构单元的一部分为结构式(a3)的结构 单元与二胺的反应的产物。 A 4 8 6 0 8 1 2 1 1 N C CN 112180684