一种触控器件的铜合金触控靶材的制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117305783 A (43)申请公布日 2023.12.29 (21)申请号 202311183821.9 C21D 9/00 (2006.01) B23P 15/00 (2006.01) (22)申请日 2023.09.14 (71)申请人 基迈克材料科技（苏州）有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴江汾湖经济 开发区汾杨路东侧 (72)发明人 顾宗慧　 (74)专利代理机构 苏州企知鹰知识产权代理事 务所(普通合伙) 32420 专利代理师 王玉珍 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) C22C 1/02 (2006.01) C22C 9/00 (2006.01) B22D 7/00 (2006.01) C22F 1/08 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图1页 (54)发明名称 一种触控器件的铜合金触控靶材的制备方 法 (57)摘要 本发明公开了一种触控器件的铜合金触控 靶材的制备方法，其技术方案要点是：包括以下 具体步骤：步骤1、靶材掺杂元素的选取和配比： 根据最终所需达到膜层性能，从Zr、Cr、Zn、Al中 选取计算，并分析出靶材元素掺杂元素种类和配 比；步骤2、真空熔炼：将计算配比好的单