发明

半导体器件及其制备方法2026

2024-04-16 07:21:04 发布于四川 46
  • 申请专利号:CN202311808858.6
  • 公开(公告)日:2026-07-07
  • 公开(公告)号:CN117878718A
  • 申请人:武汉锐晶激光芯片技术有限公司
摘要:本申请涉及一种半导体器件及其制备方法。方法包括:提供衬底;于衬底的表面形成多个间隔排布的第一钝化层;于衬底内形成多个脊条,各脊条包括部分衬底,各脊条两侧壁为开设于衬底的凹槽;其中,第一钝化层位于脊条上,第一钝化层和脊条的总高度大于高度阈值;于衬底的表面和各第一钝化层的表面分别形成第二钝化层;于第二钝化层的表面形成第一光刻胶层;对第一光刻胶层进行图形化处理,以露出第二钝化层远离脊条上的第一钝化层和第二钝化层;采用回流工艺使各凹槽内的第一光刻胶层沿脊条的侧壁回流,以覆盖脊条两侧壁的第二钝化层。本申请通过第一钝化层增加高度,提高回流工艺的成功率,以适用于不同脊条高度的半导体器件的热回流工艺。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117878719 A (43)申请公布日 2024.04.12 (21)申请号 202410021778.4 (22)申请日 2024.01.05 (71)申请人 广州金升阳科技有限公司 地址 510663 广东省广州市黄埔区南云四 路8号 (72)发明人 陈炬威 陈焕侠 阮启钦 王国云  (51)Int.Cl. H01S 5/042 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种二极管驱动电路 (57)摘要 本发明公开了一种二极管驱动电路,包括二 极管驱动器,二极管驱动器包括控制电路和依次 连接的激光二极管LD、开关管S1、电阻R1;二极管 驱动电路还包括限时补偿电路,限时补偿电路用 于在二极管驱动器在启机过程中,在预设时间内 输出补偿信号至控制电路,以使控制电路在预设 时间内控制开关管S1关断,预设时间结束后,停 止输出补偿信号,以使控制电路控制开关管S1导 通,从而驱动激光二极管LD发光。本通过限时补 偿电路在启机时对采样信号进行补偿,使得补偿 后的采样信号大于控制信号,控制电路控制开关 管S1关断,从而解决激光二极管LD在启机过程中 A 有漏电流导致漏光的问题,在一定延时后,补偿 9 信号消失,从而不影响二极管驱动器启机后的工 1 7 8 作。 7 8 7 1 1 N C CN 117878719 A 权 利 要 求 书 1/

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