1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 物理
PCT发明

量测设备

2023-06-02 13:42:33 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980054344.1
  • 公开（公告）日：2024-09-17
  • 公开（公告）号：CN112585540A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：用于确定跨越包括多个经图案化区的衬底的平面内变形(IPD)的方法和设备。所述方法包括：获得指示跨越所述多个经图案化区中的一个图案化区的局部应力分布的区内数据；基于所述区内数据来确定指示跨越所述衬底的全局应力分布的区间数据；以及基于所述区间数据来确定跨越所述衬底的所述IPD。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112585540 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 201980054344.1 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2019.07.03 代理人 王益 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 18190150.5 2018.08.22 EP G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.02.19 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/067885 2019.07.03 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/038642 EN 2020.02.27 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 L ·P ·范戴克　R ·J ·F ·范哈恩　 S ·辛格　I ·马拉克霍夫斯基　 R ·H ·J ·奥腾　A ·辛格　 权利要求书1页 说明书11页 附图6页 (54)发明名称 量测设备 (57)摘要

最新专利

相关专利