一种等离子体增强化学气相沉积设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116121735 A (43)申请公布日 2023.05.16 (21)申请号 202211577691.2 (22)申请日 2022.12.09 (71)申请人 江苏籽硕科技有限公司 地址 225300 江苏省泰州市医药高新技术 产业开发区经济开发区创新创业产业 园三期4号电子厂房1层、2层 (72)发明人 任斌　王乃雷　梁飞虎　 (74)专利代理机构 南京禾祁专利代理事务所 (普通合伙) 32462 专利代理师 韩睿 (51)Int.Cl. C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种等离子体增强化学气相沉积设备 (57)摘要 本发明提供一种等离子体增强化学气相沉 积设备，涉及太阳能电池镀膜技术领域。该等离 子体增强化学气相沉积设备，包括设备主体，所 述设备主体的内部设置有沉积室，所述沉积室的 顶部固定连接有第一电极板，所述沉积室的底部 固定连接有第二电极板，所述第二电极板的顶部 放置有托盘 ；所述托盘的内部设置有滑槽，并且 滑槽的内部设置有滑动连接有挡板，所述挡板的 内壁上固定连接有横向侧板与纵向侧板。通过设 置滑槽、挡板、放置腔、挤压板、滑杆、顶紧弹簧、 固定板和阻挡块，当工作人员需要对太阳能电池 进行翻面时 ，工作人员用手下压挡板，使挡板进 A 入滑槽内并且将太阳能电池从放置腔内移出，