真空隔离的批处理系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114277353 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111144244.3 (22)申请日 2019.09.12 (30)优先权数据 62/732,205 2018.09.17 US (62)分案原申请数据 201910867052.1 2019.09.12 (71)申请人 先进尼克斯有限公司 地址 美国马萨诸塞州 (72)发明人 阿瑟 ·凯格勒　凯文 ·巴贝拉　 丹尼尔 ·古德曼　 (74)专利代理机构 北京申翔知识产权代理有限 公司 11214 代理人 艾晶 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图12页 (54)发明名称 真空隔离的批处理系统 (57)摘要 一种气相沉积系统，包括：真空腔室；与真空 腔室真空连通的两个或更多个处理模块；设置在 真空腔室内的阀板；可旋转的多模块载体圆盘， 所述多模块载体圆盘被配置成通过旋转将阀板 运送并定位到至少一个处理模块的密封表面下 方；以及锁环，所述锁环被配置成：当所述至少一 个处理模块从与所述真空腔室的真空连通移除 并进入大气压力时，使用足够的力将阀板固定抵 靠在至少一个处理模块的密封表面上来保持所 述真空腔室中的真空压力。 A 3 5 3 7 7 2 4 1 1 N C CN 114277353 A 权　利　要　求　书