一种基于化学气相沉淀法的纳米材料生长控制系统及方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117845197 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202410262445.0 (22)申请日 2024.03.07 (71)申请人 河套学院 地址 015000 内蒙古自治区巴彦淖尔市临 河区云中大街 (72)发明人 贾彩红　张宏杨　贾冬义　 (74)专利代理机构 深圳市朝闻专利代理事务所 (普通合伙) 44454 专利代理师 原程 (51)Int.Cl. C23C 16/52 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书4页 说明书11页 附图1页 (54)发明名称 一种基于化学气相沉淀法的纳米材料生长 控制系统及方法 (57)摘要 本发明涉及纳米材料技术领域，公开了一种 基于化学气相沉淀法的纳米材料生长控制系统 及方法，包括：气相反应控制模块，确保反应物和 载气的流量比例和检测并实时调整反应气体的 浓度；温度控制模块，控制反应室的温度，并根据 反应情况实时调整反应室温度；反馈控制模块， 使用传感器监测反应室中的参数，包括温度、气 体流量，并将参数反馈发送至主控制器；沉淀物 收集模块，实时监测沉淀物的质量，实时调整反 应条件；主控制器：根据反馈控制模块发送到参 数进行实时数据分析，来调整反应参数来对纳米 A 材料生产进行控制，反应参数包括加热功率和气 7 体流量；安全模块，用于检测气体泄漏