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PCT发明

基于CVD的金刚石合成方法及装置

2023-05-28 13:41:42 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201980044830.5
  • 公开（公告）日：2024-06-18
  • 公开（公告）号：CN112384640A
  • 申请人：迪亚罗科技
摘要：本发明涉及通过化学气相沉积对合成的改进，尤其涉及金刚石合成。为了增加活性物质之间碰撞的机会，提出了通过压缩沉积衬底附近的等离子体来减少沉积金刚石层所需的时间。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112384640 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 201980044830.5 (74)专利代理机构 沈阳东大知识产权代理有限 公司 21109 (22)申请日 2019.06.18 代理人 梁焱 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2018/5473 2018.07.05 BE C23C 16/27 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/517 (2006.01) 2021.01.04 H01J 37/32 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/066079 2019.06.18 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/007605 FR 2020.01.09 (71)申请人 迪亚罗科技 地址 比利时弗勒鲁斯拉比索街19号 (72

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