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发明

一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置2023

2023-10-31 07:17:52 发布于四川 4
  • 申请专利号：CN202310643329.9
  • 公开（公告）日：2023-10-27
  • 公开（公告）号：CN116947102A
  • 申请人：湖北工业大学
摘要：本发明公开了一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置，所述的方法如下：S1、将钼粉末填充在等离子体反应器放电区域内；S2、向等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六氟化硫气体，惰性气体被电离成等离子体，六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物；S3、氟原子和低氟硫化物与钼粉末发生反应，生成MoF6气体和硫单质。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与Mo进行反应生成MoF6，与传统以金属Mo和氟气(F2)在高温下(250℃以上)制备MoF6的方法相比，大幅度降低了反应的温度，从而大幅度降低了能耗，而且操作安全，实现了SF6的硫氟资源利用，解决了SF6转化率低的问题。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116947102 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310643329.9 (22)申请日 2023.06.01 (71)申请人 湖北工业大学 地址 430072 湖北省武汉市洪山区南李路 28号 (72)发明人 张晓星　李亚龙　杨照迪　万昆　 (74)专利代理机构 武汉宇晨专利事务所(普通 合伙) 42001 专利代理师 董路 (51)Int.Cl. C01G 39/04 (2006.01) B01J 19/08 (2006.01) B01D 53/50 (2006.01) B01D 53/68 (2006.01) B01D 53/78 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种基于等离子体活化SF 制备MoF 的方法 6 6 和装置 (57)摘要 本发明公开了一种基于等离子体活化SF 制 6 备MoF 的方法和装置，所述的方法如下：S1、将钼 6 粉末填充在等离子体反应器放电区域内 ；S2、向 等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六 氟化硫气体，惰性气体被电离成等离子体，六氟 化硫气

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