一种DLC涂层加工设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117845185 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202410045904.X (22)申请日 2024.01.12 (71)申请人 青岛优百宇真空设备股份有限公司 地址 266200 山东省青岛市即墨区大信镇 小信村工业园01栋 (72)发明人 宋永宾　王鹏　王勇安　邱月　 (74)专利代理机构 合肥左心专利代理事务所 (普通合伙) 34152 专利代理师 金花子 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) B65G 35/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 (54)发明名称 一种DLC涂层加工设备 (57)摘要 本申请涉及钢铁制造技术领域，公开了一种 DLC涂层加工设备，为了解决不易提供真空环境 的问题，通过设置有多组小机械直连泵组和大机 械直连泵组，从而在控制系统的布控下，可以在 极短的时间内沉积DLC膜层，以此自动完成抽真 空镀膜，并且，通过转架车能够将工件自动的进 出炉，加快了工件的镀膜效率，实现了多组泵体 组合抽真空和自动进出炉的效果。 A 5 8 1 5 4 8 7 1 1 N C CN 117845185 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种D