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PCT发明

图案轮廓改善用化学增幅型正性光刻胶组合物

2023-05-28 12:40:23 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201980041217.8
  • 公开（公告）日：2024-11-22
  • 公开（公告）号：CN112313580A
  • 申请人：荣昌化学制品株式会社
摘要：本发明涉及一种通过添加能够提高用于形成半导体图案的透过率的树脂而表现与以往的KrF正性光刻胶相比垂直的(Vertical)轮廓的KrF光源用光刻胶组合物。作为一种图形轮廓改善用化学增幅型正性光刻胶组合物，其特征在于，相比于组合物总重量，包含5至60重量％的聚合物树脂、0.1至10重量％的由化学式1表示的透过率提高树脂添加物、0.05至10重量％的光致酸产生剂、0.01至5重量％的酸扩散抑制剂以及剩余的溶液。本发明，具有提供与以往正性光刻胶相比具备垂直的(Vertical)轮廓及改善的感光度，同时工艺裕度优异的组合物的效果。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112313580 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 201980041217.8 (74)专利代理机构 北京青松知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 11384 (22)申请日 2019.05.22 代理人 郑青松 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 10-2018-0069664 2018.06.18 KR G03F 7/039 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/004 (2006.01) 2020.12.18 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/KR2019/006128 2019.05.22 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2019/245172 KO 2019.12.26 (71)申请人 荣昌化学制品株式会社 地址 韩国庆尚北道 (72)发明人 李秀珍　崔映喆　李昇勋　李昇炫　

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