一种晶圆传输系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113972158 A (43)申请公布日 2022.01.25 (21)申请号 202111246239.3 (22)申请日 2021.10.26 (71)申请人 上海广川科技有限公司 地址 200444 上海市宝山区山连路799号1 幢1层-3层 (72)发明人 刘恩龙　杨琦　张贤龙　中岛隆志　 川辺哲也　张加峰　曹洁　张菊　 董怀宝　马刚　董阳　李莹莹　 乐佳浩　 (74)专利代理机构 上海天辰知识产权代理事务 所 (特殊普通合伙) 31275 代理人 马盼　吴世华 (51) Int.C l. H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图10页 (54)发明名称 一种晶圆传输系统 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆传输系统，包括具有 搬运腔室的壳体，以及位于所述搬运腔室中的机 器人、晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却 单元；所述机器人位于搬运腔室的中央，所述晶 圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元分布 在所述机器人的周围；所述晶圆载具上料站能够 兼容M种尺寸的晶圆载具；所述机器人、预对准单 元和缓存冷却单元能够分别对不同尺寸的晶圆 进行搬运、预对准和缓存冷却。本发明提供的一 种晶圆搬运系统，主要用于解决多规格晶圆需 求，以及实现多规