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控制带电粒子束的能量散布的装置和方法

2023-06-23 08:13:53 发布于四川 0

申请专利号：CN202080014117.9
公开（公告）日：2024-11-19
公开（公告）号：CN113424290A
申请人：ASML荷兰有限公司

摘要：在各方面中尤其地公开了一种带电粒子检查系统，其包括吸收部件和可编程带电粒子反射镜板，该可编程带电粒子反射镜板被布置为修改束中电子的能量分布并且对束进行整形以减少电子的能量散布和束的像差，其中吸收部件包括限定腔的结构，该腔具有内部表明以及设置在内部表上的超材料吸收体。在操作中，腔沿着束路径的一部分延伸。在其他实施例中，超材料包括吸收结构集合，该吸收结构集合被配置为设置在透明导电层上的吸收结构。进一步，公开了一种使用这种吸收部件并且使用可编程带电粒子反射镜板的方法，其中这种可编程带电粒子反射镜板包括像素集合，该像素集合被配置为生成定制电场以对束进行整形。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113424290 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202080014117.9 A ·V ·G ·曼格努斯　 E ·P ·斯马克曼　 (22)申请日 2020.02.04 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所 (30)优先权数据 11256 19157009.2 2019.02.13 EP 代理人赵林琳　郑振 20150384.4 2020.01.06 EP 20153263.7 2020.01.23 EP (51)Int.Cl. H01J 37/04 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01J 37/05 (2006.01) 2021.08.12 H01J 37/26 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/052662 2020.02.0

控制带电粒子束的能量散布的装置和方法

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