一种太阳能电池选择性掺杂硼扩散方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117423774 A (43)申请公布日 2024.01.19 (21)申请号 202311207212.2 (22)申请日 2023.09.19 (71)申请人 无锡松煜科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区环普路9 号11号厂房 (72)发明人 陈庆敏　李丙科　宋银海　张海洋　 (74)专利代理机构 浙江金杜智源知识产权代理 有限公司 33511 专利代理师 葛天祥 (51)Int.Cl. H01L 31/18 (2006.01) H01L 21/225 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 (54)发明名称 一种太阳能电池选择性掺杂硼扩散方法 (57)摘要 本发明提供一种太阳能电池选择性掺杂硼 扩散方法，包括：（1）将硅片置于热丝化学气相沉 积设备的反应腔室中，抽真空，通入硅烷、乙硼烷 和氢气，沉积厚度为10 30nm的掺硼非晶硅层，出 ~ 腔；（2）进行激光选择性重掺杂处理；（3）将硅片 置于硼扩散炉管中，抽真空，通入氮气进行无氧 硼扩散；（4）抽真空，氮气吹扫，通入氧气，将硅片 进行氧化推结，完成硅片的选择性掺杂硼扩散。 本发明采用掺硼非晶硅可以使得激光选择性重 掺杂中采用较低激光功率就可以将离子扩散到 较大的深度；采用热丝化学气相沉积法制备掺硼 非晶硅层，不会出现绕扩现象；采用无氧硼源，整 A 个工艺中无B O 副产物产生，不会对石英件造