喷淋板及处理装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116240525 A (43)申请公布日 2023.06.09 (21)申请号 202211612666.3 (22)申请日 2022.12.15 (71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司 地址 214028 江苏省无锡市新吴区漓江路 11号（经营场所：无锡市新吴区新硕路 9-6号厂房） (72)发明人 康旭　严大　施述鹏　 (74)专利代理机构 苏州衡创知识产权代理事务 所(普通合伙) 32329 专利代理师 仲昌民 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 喷淋板、喷淋方法及处理装置 (57)摘要 本发明涉及一种喷淋板及处理装置，喷淋板 包括板体，板体内形成有气体分配系统。气体分 配系统包括主进气通道、过渡通道及喷淋通道。 工艺气体先由主进气通道进入板体的内部，再经 过过渡通道中转后进入喷淋通道，最终由喷淋孔 从出气面导入处理腔体内。过渡通道能够起到缓 冲作用，避免喷淋通道内的气压直接受到主进气 通道内气压波动的影响，故喷淋通道内的气压能 够保持较好的一致性。因此，经过过渡通道中转 后，从出气面的各区域喷出的气流量也更均衡， 从而能够提升工艺气体在处理腔体内分布的均 匀性。此外，本发明还提供一种喷淋方法。 A 5 2 5 0 4 2 6 1 1 N C CN 116240525 A