一种晶圆匀胶设备

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114371601 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202210050243.0 (22)申请日 2022.01.17 (71)申请人 浙江光特科技有限公司 地址 312000 浙江省绍兴市越城区群贤路 与中兴大道东南角一楼107室 (72)发明人 叶瑾琳　况诗吟　高思铖　 (74)专利代理机构 南京普睿益思知识产权代理 事务所(普通合伙) 32475 代理人 曹花 (51)Int.Cl. G03F 7/16 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图7页 (54)发明名称 一种晶圆匀胶设备 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆匀胶设备，包括：一 支撑件，其上设有3个定位组，3个所述定位组沿 第一圆周的周向均匀间隔布置，所述定位组包括 多个沿所述第一圆周的径向布置的定位孔；3个 定位件，与3个所述定位组一一对应，所述定位件 与所述定位孔可拆卸连接；一吸盘，设置于所述 支撑件上，且位于3个所述定位件之间；一旋转机 构，用于带动所述支撑件沿所述第一圆周的周向 转动；一供胶机构；一滴胶管，与所述供胶机构连 接，布置于所述吸盘的上方。将晶圆放置在吸盘 上，并置于3个定位件之间，利用吸盘吸附晶圆。 通过设置3个定位件，保证每次放置晶圆时，晶圆 A 的中心固定，保证后续匀胶均匀性。 1 0 6 1 7 3 4 1 1 N C CN 114371601 A