包含光学探针的电化学沉积系统
- 申请专利号:CN202080053306.7
- 公开(公告)日:2025-06-10
- 公开(公告)号:CN114174562A
- 申请人:朗姆研究公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114174562 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202080053306.7 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263 代理人 樊英如 张静 (22)申请日 2020.05.19 (51)Int.Cl. (30)优先权数据 C25D 17/00 (2006.01) 62/852,497 2019.05.24 US C25D 21/12 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.01.24 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/033644 2020.05.19 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/242838 EN 2020.12.03 (71)申请人 朗姆研究公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 安德鲁 ·詹姆斯 ·普福 尚蒂纳特 ·小古艾迪 何治安 马尼什 ·兰詹 权利要求书4页 说明书15页 附图18页 (54)发明名称 包含光学探针的电化学沉积系统 (57
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