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PCT发明

包含光学探针的电化学沉积系统

2023-04-27 13:31:21 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080053306.7
  • 公开（公告）日：2025-06-10
  • 公开（公告）号：CN114174562A
  • 申请人：朗姆研究公司
摘要：一种电化学沉积系统包括：电化学沉积室，其包括用于电化学沉积的电解液；衬底保持器，其被配置成保持衬底并且包括与所述衬底电气连接的第一阴极；第一致动器，其被配置成调整所述衬底保持器在所述电化学沉积室中的竖直位置；阳极，其浸没在所述电解液中；第二阴极，其被配置成在所述第一阴极与所述阳极之间；第一光学探针，其被配置成，当所述衬底被浸没在所述电解液中时，在距离所述衬底的中心第一距离处测量所述衬底的第一反射率；以及控制器，其被配置成在所述电化学沉积的期间，基于所述衬底的所述第一反射率而选择性地调整施加至所述第一阴极的功率、施加至所述第二阴极的功率、施加至所述阳极的功率、以及所述衬底保持器的所述竖直位置中的至少一者。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114174562 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202080053306.7 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263 代理人 樊英如　张静 (22)申请日 2020.05.19 (51)Int.Cl. (30)优先权数据 C25D 17/00 (2006.01) 62/852,497 2019.05.24 US C25D 21/12 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.01.24 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/033644 2020.05.19 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/242838 EN 2020.12.03 (71)申请人 朗姆研究公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 安德鲁 ·詹姆斯 ·普福　 尚蒂纳特 ·小古艾迪　何治安　 马尼什 ·兰詹　 权利要求书4页 说明书15页 附图18页 (54)发明名称 包含光学探针的电化学沉积系统 (57

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