一种导电自润滑复合涂层及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113832447 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111049640.8 C23C 16/56 (2006.01) (22)申请日 2021.09.08 (71)申请人 宁波杭州湾新材料研究院 地址 315336 浙江省宁波市杭州湾新区众 创园众创一路 申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研 究所 (72)发明人 宋惠　江南　褚伍波　杨国永　 易剑　李赫　王博　 (74)专利代理机构 杭州天勤知识产权代理有限 公司 33224 代理人 刘诚午 (51)Int.Cl. C23C 16/27 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 一种导电自润滑复合涂层及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种导电自润滑复合涂层，包 括基体，基体表面由内而外依次为金刚石层、类 金刚石层和石墨烯层。本发明通过热丝化学气相 沉积法制备金刚石层，并对金刚石层进行激光处 理原位生成类金刚石层，进一步在类金刚石层上 通过化学键合‑热处理制备石墨烯层，制备方法 简单、重复性好。多层协同作用有效缓解了复合 涂层的应力，减少了摩擦服役过程中的脆性断 裂，实现了复合涂层摩擦性能和功能性的双向优 化，最外层的石