面内拉伸模态射频微机电谐振器

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113114149 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110568612.0 (22)申请日 2021.05.24 (71)申请人 中国科学院半导体研究所 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35 号 (72)发明人 刘文立　杨晋玲　袁泉　陈泽基　 杨富华　 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 代理人 孙蕾 (51)Int.Cl. H03H 3/007 (2006.01) H03H 9/24 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 面内拉伸模态射频微机电谐振器 (57)摘要 本公开提供了一种面内拉伸模态射频微机 电谐振器，包括：谐振单元，工作于面内拉伸模态 下；定义谐振单元由在面内拉伸模态下的谐振振 动而产生位移量变化的边缘位置为振动部；支撑 单元，包括支撑梁和基座；支撑梁包括形成复合 结构的直梁和框型梁；支撑梁用于支撑谐振单 元；基座与支撑梁相连，用于维持谐振单元的悬 空；电极，设置于谐振单元的振动部处，用于驱动 和检测谐振单元进行谐振振动的换能结构。本发 明提供的面内拉伸模态射频微机电谐振器基于 面内拉伸模态，热弹性损耗和介质损耗低；支撑 梁为复合结构，减小了谐振器的支撑损耗，进一 A 步提高Q值，可用于构建多种高性能射频器件。 9 4 1 4 1 1 3